EDWARDS展示的真空設備

Edwards公司總部設在英國，擁有完善成熟的品牌。Edwards公司真空和尾氣處理技術致力

于在整個半導體制造領域中減少污染、降低能耗和運營成本，這些領域包括LED、太陽能光伏

(solar PV)和平板顯示(flat-panel display，F(xiàn)PD)等。

Edwards市場半導體行業(yè)Maiku Boger表示：“中國的半導體行業(yè)繼續(xù)表現(xiàn)出強勁增

長，尤其是受到國內(nèi)生產(chǎn)的推動。中國的戰(zhàn)略目標包括新能源和環(huán)境的可持續(xù)性，因此，太陽

能光伏(PV)、FPD和化合物半導體等都屬于中國非常具有競爭力的廣泛工業(yè)領域。Edwards公司

的真空和尾氣處理系統(tǒng)是滿足這個巨大市場供應鏈的核心，從2005年開始，業(yè)界*中國

已經(jīng)是世界zui大的半導體芯片市場。”

Edwards的真空和尾氣處理系統(tǒng)緩解了一系列環(huán)境威脅，例如半導體生產(chǎn)工藝中產(chǎn)生的酸性和腐

蝕性氣體，Edwards可幫助用戶實現(xiàn)碳排放為負值(carbon-negative)。Edwards通過一系列創(chuàng)新

但已經(jīng)過驗證的泵和系統(tǒng)來提供高能效解決方案，所有這些方案都僅需要相對較低的資本投入

和維護成本。　　

Edwards在中國的主要目標就是按照客戶的特定要求來提供定制的真空解決方案和增值服務，以

便幫助他們應對在先進工藝和設備制造中遇到的挑戰(zhàn)。Edwards能夠在需要尾氣處理的場合提供

“交鑰匙”系統(tǒng)方案。

EDWARDS展示的真空設備